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NEXIV VMZ-S3020

仕様

モデル
VMZ-S3020
ストローク (X,Y,Z)
300 x 200 x 200mm  ※タイプTZ(低倍対物使用時) 250×200×200 mm
最少表示単位
0.01 μm
被検物最大質量
20 kg(精度保証値:5 kg)
測定精度
※Lは測定長さ(mm)
EUX, MPE EUY, MPE
1.2 + 4L/1000 μm
EUX, MPE EUY, MPE
1.2 + 4L/1000 μm
EUX, MPE EUY, MPE
1.2 + 4L/1000 μm
最大許容プロービング誤差 1),2) :MPE PF2D 0.8 μm
最大許容プローブプロービング誤差 1),2) :MPE PFV2D 0.3 μm
カメラ
白黒/カラー 1/3型CMOS
作動距離
タイプ1~3
タイプ4
タイプTZ
タイプA
50 mm
30 mm
高倍:11 mm/低倍:32 mm
73.5 mm
(レーザーAF部63 mm)
オートフォーカス
レーザーAF(タイプAはオプション)/イメージAF
レーザー繰り返し精度1),3)
2 σ≦0.5 μm
照明
タイプ1~4:垂直落射、透過、8分割リング照明(全系統白色LED光源/タイプ1, 2, 3は3角度、タイプ4は1角度)

タイプTZ:垂直落射、透過(VMZ-S3020の低倍側を除く)、暗視野照明

タイプA:垂直落射、透過、8分割リング照明(全系統白色LED光源/1角度)
供給電源、消費電流
AC100 V-240 V、50/60 Hz / 4 A - 2 A
寸法 (W x D x H) / 質量
本体+測定台:700×730×1793 mm / 約265 kg
コントローラー:190×450×450 mm / 約12 kg
設置寸法(W×D)
2700×2400 mm
1)自社が定めた評価方法による
2)Type2ヘッド 15倍時
3)サンプル:キャリブレーションプレートのクロム面。TypeAヘッドを除く

寸法図

VMZ-S3020

(単位:mm)

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