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LSI検査顕微鏡用ウェハローダ
ニコン独自の高い技術力で、超薄型100μmウェハの安定搬送を実現。
半導体製造工程において、ウェハ厚はさらに極薄化の傾向にあります。 NWL200シリーズは、ニコン独自の高い技術力により、検査顕微鏡用ウェハローダ初の超薄型100μm厚ウェハの安定搬送を可能にしました。(※) 次世代の半導体検査にマッチした信頼性の高い搬送を実現します。
半導体、磁気ヘッド、液晶、フィルムなどの観察・検査用の顕微鏡。
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