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FPD / LSI検査顕微鏡

ECLIPSE L300N / L300ND / L200N / L200ND

観察性能の向上

検査領域を広げる落射蛍光観察(L300N / L300ND / L200ND)

  • 反射照明観察では、明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察に加えて、UV(365nm)励起を含む落射蛍光観察(L300N / L300ND / L200ND)が可能です。
  • 半導体レジストの残渣や有機ELディスプレイの観察などで威力を発揮します。
ウェハパターンの明視野観察

ウェハパターンの明視野観察

暗視野観察

暗視野観察

微分干渉観察

微分干渉観察

ウェハ上の有機物の落射蛍光観察

(左)明視野
(右)落射蛍光UV-2A

落射蛍光観察用 電動水銀ファイバ光源「INTENSILIGHT」(L300N / L300ND / L200ND)

  • 光源はプリセンタタイプの電動水銀ファイバ光源「INTENSILIGHT」を採用しました。
  • ランプ交換時の芯出し、ピント出しがすべて不要です。
  • 光源を顕微鏡から離して設置できるため、顕微鏡への熱の影響を低減し、ピントズレを防ぎます。
  • 6段階の調光機構やシャッター機能により、高い操作性を実現しました。
  • 約2000時間の長寿命ランプが交換の手間と費用を大幅に削減します。

従来比約4倍明るい透過照明観察(L300ND)

L300NDの透過照明観察では、新光源の採用に加えて光学系を改良したことにより、これまでの約4倍の明るさを実現しています。

さらに進化した光学性能

  • CFI60-2

「高NAと長作動距離の両立」という独自のコンセプトで高い評価を頂いているCFI60光学系が、世界最高峰の長作動距離/色収差の向上/軽量化を達成してさらに進化しました。

CFI60-2 対物レンズ

環境対応力、操作性の向上

12V100W以上の明るさを誇る高輝度12V50Wハロゲン照明

  • 12V100Wに比べ約1/2の消費電力ながら同等以上の明るさを実現する、12V50Wの「LV-LH50PC プリセンタランプハウス」を採用しました。
  • フィラメントの最適化とバックミラー付きランプハウスにより、光学的に重要な瞳面をムラなく、効率的にカバーできます。特に明るさが必要な50×以上の高倍対物レンズ使用時には、12V100Wと比較して20%以上明るい観察像を提供します。
  • 地球環境にも優しく、熱によるピントのずれも防ぎます。

従来比3倍の高耐久電動ユニバーサルレボルバ

  • 対物レンズは6本まで装着可能です。
  • 3ヵ所の芯出し機構付き(L300N / L300ND)。
  • 偏芯の少ない対物レンズとの組み合わせにより、高倍対物観察時でも像とびの少ない倍率切替えを実現しました。低倍から高倍まで、安定した状態でお使いいただけます。
  • 作業者に配慮し、レボルバの回転時に自動的に照明を消して直接光が目に入らないようにする閃光防止機能を採用しています。

コンタミ対策を強化した帯電防止コーティング

  • ボディ、ステージ、鏡筒などに帯電防止コーティングを採用しました。コンタミネーション対策の強化、静電気によるサンプルの損傷防止、歩留り向上に貢献します。

最適なアイレベルで観察できる正立傾角三眼鏡筒

  • 視野数25の超広視野タイプで、0?30°の範囲で観察角度を設定可能です。
  • 体格差や観察姿勢に合わせて最適なアイレベルが得られるので、楽な姿勢で観察できます。

位置が変わらないステージ微動ハンドル

  • サンプルの観察位置にかかわらず、ステージ微動ハンドル位置は顕微鏡部操作部近くに固定です。
  • すべての操作部が常に近い位置に配置されているため、ステージ移動とピント合わせなどの顕微鏡操作は、机上に腕をおいたまま楽な姿勢で行えます。

ピント合わせが楽なフォーカシングターゲット

  • ターゲットを光路に挿入することで、ベアウエハなどのパターンのないサンプルでも、正確なピント合わせが楽に行えます。

ベース前面部に集中した顕微鏡操作部

  • 操作ハンドルやボタン類は、アクセスしやすいベース前面部に集中配置しました。
  • 目視観察したまま、すばやく効率的に顕微鏡操作が可能です。
  • 長時間の観察でも疲労を最小限に抑えられます。

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