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オプチカルパラレル

両面とも高精度の平面、平行に仕上げられています。

接触面に生じる光波干渉縞を観察することで、測定機、測定工具類の測定面 の平面度、平行度を検査します。

仕様
  • 直径:30mm
  • 厚さ:12mm、12.12mm、12.25mm、12.37mm
  • 平面度:0.1μm以内
  • 平行度:0.2μm以内

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